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簡(jiǎn)要描述：CIF推出全新一代 CPC-10系列實(shí)驗室型等離子體清洗設備， 改變傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積， 使用成本低， 性?xún)r(jià)比高， 處理快速高效， 特別適合于大學(xué)， 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗室小批量中試生產(chǎn)。
產(chǎn)品型號：CPC-10/Plus廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2024-03-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：1588產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | CIF | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源 |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監測工藝參數狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，工藝數據可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個(gè)清洗過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 石英真空艙，真空管路系統采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染。
◆ 采用質(zhì)量流量計，實(shí)現對氣體輸入精準控制，改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問(wèn)題。
◆ HEPA 高效過(guò)濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ 60 度傾角操作界面設計，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。
◆ 頂置真空艙，上開(kāi)蓋設計，下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式，開(kāi)關(guān)蓋方便。
◆ 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤(pán)設計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。
◆ 有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ 安全保護，艙門(mén)打開(kāi)，自動(dòng)關(guān)閉電源。
技術(shù)參數：
型號 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 | ||
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路 MFC（可選兩路） | ||
艙體尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | ||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | ||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
時(shí)間設定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
| 抽速 8m3/h | 抽速 8m3/h | ||
氣體穩定時(shí)間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa 以?xún)?/span> | 100pa 以?xún)?/span> | ||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | ||
產(chǎn)品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整機重量 | 55kg | 55kg | ||
產(chǎn)品咨詢(xún)
地址：北京市豐臺區科興路7號國際企業(yè)孵化中心301室
郵箱：cif_lab@163.com
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