勻膠旋涂?jì)x

　　英國Ossila公司勻膠旋涂?jì)x，操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，旋涂均勻，結構小巧緊湊，為實(shí)驗室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng )新設計的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮氣，就能達到很好的旋涂效果。勻膠旋涂?jì)x可對大小不同規格的基材都可進(jìn)行旋涂，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達到旋涂效果。不會(huì )出現真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現象，影響涂層的均勻性。勻膠旋涂?jì)x廣泛應用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝。

　　Ossila勻膠旋涂?jì)x控制和顯示：

　　1.非常方便設定處理速度和加速度程序段；可設置順序循環(huán)控制；

　　2.顯示精度控制在設定值的0.006%以?xún)?/span>

　　3.操作者可隨時(shí)隨地自由實(shí)現人機交互；

　　設備運轉進(jìn)程中，可隨意向前，向后或者往返跳躍操作步驟；

　　循環(huán)指令，并可以重復操作；

　　在運轉模式下也可以實(shí)時(shí)改變速度和加速度；

　　包含PC程序端接口；

　　可視化操作模型（化學(xué)試劑，傳感器所見(jiàn)即所得的操作界面）；

　　故障報警裝置（可形象顯明故障發(fā)生位置）。

勻膠旋涂?jì)x技術(shù)性能

• 可在手套箱和通風(fēng)廚內使用，基座面積僅為22.5x17cm。
• 無(wú)需真空泵、充氮氣，節省保養維護費用。
• 創(chuàng )新設計非真空卡盤(pán)式吸盤(pán)，基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當位置，無(wú)需抽真空，就能達到旋涂效果。
• 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán)，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行。
• 勻膠旋涂?jì)x采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個(gè)用戶(hù)自定義協(xié)議，每個(gè)協(xié)議下可設置10個(gè)程序，每個(gè)程序多50個(gè)步驟。
• 內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
• 電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證運行安全。
• 轉速穩定性：<2%。
• 轉速：120-6000rpm。
• 定時(shí)器：1-1000秒。
• 電源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
• 尺寸：220x170x132mm。
• 左：普通旋涂機上有真空密封環(huán)形印跡     右：Ossila非真空式旋涂效果