勻膠旋涂?jì)x學(xué)會(huì )2個(gè)參數,輕松掌握！
更新時(shí)間：2020-05-13 點(diǎn)擊次數：1384
勻膠旋涂?jì)x對于從事微流控領(lǐng)域的研究者來(lái)說(shuō)并不陌生，它可以用來(lái)制備膜厚度<10nm薄膜，在1-100um厚度的光刻膠沉積光刻工藝中也常常用到。在微流控領(lǐng)域，載玻片、硅片、ITO導電玻璃等都可作為薄膜涂覆基底材料。勻膠旋涂?jì)x原理簡(jiǎn)單來(lái)講，通過(guò)片托產(chǎn)生負壓，將需旋涂基底材料吸附在片托上，然后將涂覆材料膠液滴注在基底材料表面，通過(guò)調節電機轉速，來(lái)改變離心力大小，同時(shí)控制膠液流量，從而獲得想要的膜厚度，當然，膜厚度還跟旋涂時(shí)間、膠液粘度、溫度以及濕度等因素有關(guān)。
勻膠旋涂?jì)x性能相關(guān)的幾個(gè)參數：
1.片托材質(zhì)：目前大部分勻膠機片托材質(zhì)采用的一般是鋁合金或者是普通塑料，原因是成本低，對于一般要求是能夠滿(mǎn)足需求的，但是對于要求比較嚴苛行業(yè)來(lái)說(shuō)，比如半導體以及化工行業(yè)，由于鋁合金抗腐蝕性不是很好，高溫和高壓會(huì )導致塑料你變形等原因，對于片托的要求就比較高，目前一般采用天然聚丙烯以及聚四氟乙烯材料，原因是這兩種具有材質(zhì)綠色環(huán)保、重量輕、強度大，堅固耐用以及抗沖擊性能好等優(yōu)點(diǎn)。
2.真空吸附以及清洗系統：真空泵系統壓力標定需準確，若實(shí)際壓力降低，可能會(huì )存在飛片現象，容易產(chǎn)生實(shí)驗事故。使用完旋涂?jì)x后，需在泵開(kāi)啟狀態(tài)，用有機溶劑進(jìn)行氣孔清洗，確保下次正常使用。
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