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為使勻膠旋涂?jì)x達到預期的效果,在使用時(shí)應注意這幾點(diǎn)

更新時(shí)間:2021-05-08       點(diǎn)擊次數:2149
  勻膠旋涂?jì)x快速啟動(dòng)和穩定的轉速,能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。主要用于微細加工、半導體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設備配合使用。適用于半導體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。勻膠旋涂?jì)x的使用注意事項:

  1、在開(kāi)機前,要抬起控制鍵以及吸片鍵,將電源開(kāi)啟以后,分別將各鍵按下進(jìn)行操作,從而使沒(méi)有啟動(dòng)電機就轉動(dòng)得以避免。

  2、片子尺寸不一樣,選用的片托的尺寸也不一樣,厚度低于1.5毫米的片子對帶吸氣槽的片托進(jìn)行選用,厚度高于1.5毫米的片子,對O型圈的片托進(jìn)行選用。

  3、相比于片托有效尺寸,所甩的樣片的尺寸要大大約2-3毫米。若使用大片托甩小的樣片,就會(huì )漏氣,與此同時(shí)導致往抽氣室內吸入膠。

  4、若一不小心被吸入了抽氣室,需要馬上進(jìn)行清洗,不然片托、光電盤(pán)、電機軸就會(huì )粘在一起,導致電機轉不動(dòng),拆卸也變得非常困難。

  5、在使用結束后,應對設備進(jìn)行清潔。

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